高纯气体露点变送器 在许多高纯气体的应用中，如半导体行业，气体的残留水分对于工艺操作的影响是至关重要。过往一段时间，微量水分测量一直是一个难题，需要使用复杂的水分分析仪或昂贵的分析技术。现在，密析尔仪表推出了一款简单、经济的产品，可以在线测量低至-120 °C (-184 °F) (小于1 ppb) 露点。

高纯气体露点变送器 (PURA)

技术信息

性能参数

量程

-120...-40 °Cdp (-184...-40 °Fdp); 根据需求可提供非标范围

精度

±1 °C 从 -40 至 -60 °Cdp (±1.8 °F 从 -40 至 -76 °Fdp)

±2 °C 从 -60 至 -100 °Cdp (±3.6 °C 从 -76 至 -148 °Fdp)

±4 °C 从 -100 至 -120 °Cdp (±7.2 °C 从 -148 至 -184 °Fdp (估计))

校准

可追溯至 7 点校准证书

电气参数

输出信号

4...20 mA (2线连接，拉电流)

4...20 mA (3线连接，灌电流)

Pura M12: Modbus RTU 基于 RS485

Pura 3 线 PUR-AOL-SEN-D: Michell Mnet 数字

Pura I.S变送器  4...20 mA (2线连接，拉电流)

输出

露点或水分含量 (ppmV , ppbV )

模拟输出可扩展范围

露点: -120...-40 °C (-184...-40 °F); 气体中水分含量: 0...127 ppmV;

电源电压

Pura 2 线/3 线 & Pura I.S.: 12...28 V DC Pura M12: 5...28 V DC (数字)*

负载电阻

最大 250 Ω @ 14 V (500 Ω @ 24 V)

消耗电流

最大 23 mA，取决于输出信号 符合 CE & UKCA

高纯气体露点变送器 (PURA)

工作参数

工作温度

-40...+60 °C (-40...+140 °F)

补偿温度范围

-20...+50 °C (-4...+122 °F)

储存温度

-40...+60 °C (-40...+140 °F)

工作压力

最小 24 MPa (240 barg/3481 psig)

最小 10-7 Pa (10-9 torr);

流速

1...5 Nl/min 安装在标准取样套筒内; 0...10 m/s 直接插入

机械参数

防护等级

IP66 符合标准 BS EN 60529:1992; NEMA 4 防护符合标准 NEMA 250–2003 Pura M12: IP65

本安证书

ATEX/UKCA: II 1 G Ex ia IIC T4 Ga (-20...+70 °C) IECEx: Ex ia IIC T4 Ga (-20...+70 °C) TR CU: 0Ex ia IIC T4 Ga (-20...+70 °C) cQPSus: Class I, Division 1, Groups A, B, C & D, T4 Class I, Zone 0, AEx ia IIC T4 Ga, Ex ia IIC T4 Ga Tamb +70 °C

外壳材质

316 不锈钢

尺寸

请参考第4页尺寸图

包装

Pura 高级版: 双层包装和密封在UHP惰性气体中

Pura OEM 和 Pura 传感器: 单层包装在1000 gauge 聚乙烯 传感器探头有保护套来防止运输和装卸时的损坏

所有选项: 装在异形纸板箱内单独运输

过程连接

Pura 高级版 (PRM): 2 x 1/4" 外螺纹 VCR

Pura OEM (OEM): 2 x 1/4" 外螺纹 VCR

Pura 传感器 (SEN): 1/2" 外螺纹 VCR

重量

PRM 和 OEM 版本: 450 g (0.99 lb)

SEN 版本: 180 g (0.4 lb)

电气连接

Pura: MiniDIN 43650 form C

Pura M12: M12 5 Pin (A coded)

Pura I.S变送器:MiniDIN 43650 form C

匹配的电气连接器

Pura M12: 可选 0.8, 2, 5 m (2.62, 6.56, 16.4  标准配套连接器 英尺) M12 A coded 连接器/电缆

诊断条件 (工厂配置)

传感器故障: 23 mA 高出量程露点 低于量程露点 : 20 mA : 4 mA

经认证的电流隔离器

KFD2-CR-EX1.20200

KFD2-CR-EX1.30200

KFD0-CS-EX1.50P

KFD0-CS-EX2.50P

KFD2-STC4-EX1.H

MTL5041

MTL5040